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本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜.利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响.结果表明预铺种子层、旋涂8次、在580℃下退火的条件下制得的薄膜性能最好,通过Li、Mg共掺杂使得ZnO薄膜的光致发光性能增强近5倍,近带边发射峰发生蓝移,禁带宽度变大.

关键词: 氧化锌薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 种子层 , 旋涂 , 光致发光

提拉法制备铜单晶基片的化学机械抛光研究

娄有信 , 王继扬 , 张怀金 , 李强 , 严清峰 , 马朝晖 , 戴媛静

人工晶体学报

采用提拉法成功制备出高纯铜(Cu)单晶,最大尺寸为φ15 mm×60 mm.采用化学机械抛光(CMP)方法对Cu单晶基片进行抛光,借助光学显微镜、表面轮廓仪和扫描探针显微镜分析了基片表面形貌、表面粗糙度与表面均匀性,并探讨了抛光压力、表面活性剂和抛光垫对基片表面抛光的影响,结果表明:采用CMP加工后的铜单晶基片表面无宏观划痕、加工均匀性好,基片表面粗糙度Ra为0.921 nm.

关键词: 单晶铜 , 化学机械抛光 , 表面粗糙度

SOI光电子集成

余金中 , 严清峰 , 夏金松 , 王小龙 , 王启明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.001

SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构, 包括 SOI光波导、 SOI光波导耦合器、 SOI光波导开关、相位阵列波导光栅( PAWG)、基于 SOI的光探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展.

关键词: SOI , 光电子集成电路 , 光波导 , SOI光波导开关 , 阵列波导光栅 , SOI基光探测器

微位移致动器中磁一机械能转换效率的研究

胡明哲 , 李强 , 张一玲 , 严清峰

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.041

本文研究了微位移致动器中磁能到机械能的转换效率K.计算方法实分别计算其受压状态下的总磁能以及由磁弹耦合作用产生的机械能.通过计算发现Terfeno1-D在其线形工作区间具有85% 左右的转换效率,实压电材料的2～3倍,是一种极具前途的磁致伸缩材料.

关键词: 微位移致动器 , 磁弹耦合 , 线形工作区间 , 磁致伸缩 , 磁机转换效率

助熔剂法生长的PLZST单晶的缺陷研究

严清峰 , 宋锋兵 , 张一玲 , 李强

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.02.019

本文介绍了助熔剂缓慢降温自发成核法生长的稀土掺杂锆钛锡酸铅镧(PLZST)晶体中出现的几种缺陷：包裹体、开裂、位错、枝晶，分析了这些缺陷的形成机理并提出了减少和消除这些缺陷的一些措施。

关键词: PLZST单晶 , 晶体生长 , 助熔剂法 , 缺陷

超磁致伸缩Tb-Dy-Fe单晶的开裂及粉化研究

严清峰 , 张一玲 , 李强 , 胡明哲

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.040

本文介绍了冷坩埚提拉法生长Tb-Dy-Fe晶体中所观察到的开裂和粉化现象,分析了生长工艺参数、晶体尺寸、缺陷和化学作用对晶体开裂和粉化的影响,并提出了避免晶体开裂的有效措施.

关键词: Tb-Dy-Fe单晶 , 温度梯度 , 热应力 , 化学作用 , 开裂与粉化

阳极氧化法制备TiO2有序多孔薄膜

耿翀 , 严清峰 , 王晓青 , 沈德忠

人工晶体学报

采用二次阳极氧化工艺,以含有氟化铵和水的乙二醇体系作为电解液,在纯钛表面制备有序的TiO2多孔薄膜.通过改变预处理方式、电压、氧化时间和搅拌速度等实验参数来探究其对TiO2多孔薄膜形貌的影响.结果表明,抛光后Ti基片制得的TiO2多孔薄膜表面更加平整；TiO2纳米孔的孔径和孔间距随着阳极氧化电压升高在一定范围内线性增大；TiO2纳米孔的孔径随着阳极氧化时间延长增大,孔壁随时间延长减薄,通过控制氧化时间可以实现纳米孔薄膜向纳米管阵列的转变；搅拌速度在400 r/min时,能够获得有序的自组织TiO2多孔薄膜.

关键词: 二氧化钛 , 阳极氧化法 , 多孔薄膜 , 纳米管阵列

两步法制备高择优取向的AZO薄膜

方华靖 , 严清峰 , 王晓青 , 沈德忠

人工晶体学报

通过水热生长的预处理步骤在普通玻璃载玻片表面铺设种子层,然后采用旋涂法在处理好的衬底上涂覆前驱体溶胶,成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)薄膜.利用X射线衍射分析、扫描电镜表征薄膜形貌,并测定薄膜的透射率及电阻率.研究了种子层对AZO薄膜结晶性能、表面形貌及光电性能的影响.结果表明:种子层减少了薄膜生长初期的非晶成份,促进了薄膜的晶化.薄膜在可见光范围内平均透射率超过85％,导电性能也有所改善.

关键词: AZO薄膜 , 种子层 , 溶胶凝胶 , 光电性能

铅基驰豫型复合钙钛矿结构PLZST的合成研究

严清峰 , 张一玲 , 李强

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.04.012

采用传统陶瓷烧结工艺合成了单一复合钙钛矿结构的Pb1-xLax(ZryTizSn1-y-z)O3体系陶瓷(简称PLZST,其中0.01≤x ≤0.05;0.35≤y≤0.70;0.05≤ z ≤0.20).研究表明:在选定的工艺条件下,立方相和正交相PLZST易合成为单一复合钙钛矿结构,而四方相PLZST的合成较困难;采用多次球磨、加适量过量PbO(3%)、控制成型压力、选择合适的烧结温度(1350℃)有助于合成单一复合钙钛矿结构的PLZST.

关键词: PLZST , 复合钙钛矿结构 , 合成