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氮化硅薄膜的热丝化学气相沉积法制备及微结构研究

, 周炳卿 , 部芯芯 , 高爱明

硅酸盐通报

采用热丝化学气相沉积法,以Sill4、NH3、N2为反应气源,通过改变氮气流量沉积氮化硅薄膜.通过紫外-可见(UV-VIS)光吸收谱、傅里叶红外透射光谱(FTIR)、X射线衍射谱(XRD)等测试手段对薄膜的光学带隙、键合特性及晶相进行表征与分析.结果表明:薄膜主要表现为Si-N键合结构,当N2流量从20 sccm变化到40 sccm时,热丝能够充分的分解N2,薄膜中N原子过量,其周围的Si和H能充分的与N结合.但由于N2的解离能较高,当N2流量高于40 sccm时,氮气在反应过程中对薄膜内的氮原子反而起到了稀释作用,薄膜的有序程度增大,光学带隙减小,致密性降低.当氮气流量达到150 sccm时,在2θ为69.5°处出现了晶化β-Si3 N4的尖锐衍射峰,其择优取向沿(322)晶向,且Si3 N4晶粒显著增大.因此,氮气流量对薄膜中的氮含量有显著影响,适当的增加氮气流量有利于制备出优质含有小晶粒β-Si3 N4薄膜.

关键词: 热丝化学气相沉积 , 薄膜 , 氮化硅 , 化学键结构

射频功率对富硅-氮化硅薄膜结构及性质影响

乌仁图雅 , 周炳卿 , 高爱明 , 部芯芯 ,

人工晶体学报

采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH4、NH3和N2为反应气源,通过改变射频功率制备富硅-氮化硅薄膜材料.利用傅里叶变换红外吸收光谱,紫外-可见光透射光谱,扫描电镜等对薄膜材料结构与性质进行表征.实验表明,随着射频功率的逐渐增加,薄膜光学带隙缓慢减小、有序度增加,薄膜材料中的Si-H键、N-H键缓慢减小,Si-N键增多.分析结果发现,适量的增加射频功率有利于提高样品反应速率,使薄膜有序度增加,致密性增强,提高薄膜质量,但过高的射频功率会使薄膜质量变差.

关键词: 富硅-氮化硅薄膜 , 等离子增强化学气相沉积 , 射频功率 , 沉积速率

早期维哥20辊轧机电气系统数字化改造

李宝文

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.z1.026

介绍了使用计算机、 PLC、直流调速器、测厚仪等数字化先进设备对20世纪60年代维哥20辊轧机模拟电气控制系统及F-D机组进行数字化改造的方法,着重阐述了厚度控制系统、张力控制系统、传动系统、基础自动化部分改造的方法.改造后的设备已在陕西宝钛集团投入使用,实践证明改造后的电控系统运行是安全可靠和稳定的.

关键词: 20辊轧机 , AGC , 张力控制

马克连铸机系统改造

姜振强 , 郭广文 , 陈树林

连铸 doi:10.3969/j.issn.1005-4006.2003.05.005

马克连铸机存在的问题进行分析,并针对存在问题进行技术改造,收到较好的效果,使铸坯质量和产量得到明显的提高.

关键词:

装密度片状银粉的研究

李晓龙 , 黄富春 , 李文琳 , 赵玲 , 陈伏生

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2012.01.004

采用湿法球磨工艺,通过调整银粉和球的比例、球径大小、球磨时间制备出低装密度片状银粉.该银粉的装密度小于1.0 g/cm3,粒径大小可调,粉末的体积和比表面积大,已成功地应用于制备银浆,并可起到降低银含量,提高浆料粘度和导电性能的作用.

关键词: 金属材料 , 片状银粉 , 导电性能 , 银含量 , 混合银粉 , 粘度

Ti-Al合金精密铸件微观缩预测

梁作俭 , 许庆彦 , 李俊涛

金属学报

根据金属液凝固收缩理论和多孔介质中流体流动原理,建立了离心压力下Ti-Al 合金精密铸件中微观缩缺陷预测的数学模型,采用该模型对Ti-Al 增压涡轮铸件进行模拟计算,并进行了实验验证。结果表明,数学模型能够合理反映离心转速、离心半径、温度梯度和冷却速度等重要因素对微观缩的影响规律,数值模拟结果与实验结果相吻合。分析增压涡轮的计算结果表明,在涡轮轴向,温度梯度是影响微观缩度如何分布的主要原因;在涡轮径向,温度梯度、冷却速度和离心半径的共同作用决定着微观缩度的变化规律。提高温度梯度,降低冷却速度,充分利用离心压力对枝晶间补缩的有效作用,有利于减少涡轮内部的微观缩,保证叶片和涡轮的组织致密性和力学性能。

关键词: Ti-Al , null , null , null

Ti-Al合金精密铸件微观缩预测

梁作俭 , 许庆彦 , 李俊涛 , 李世琼 , 张继 , 柳百成 , 仲增墉

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.03.011

根据金属液凝固收缩理论和多孔介质中流体流动原理,建立了离心压力下Ti-Al合金精密铸件中微观缩缺陷预测的数学模型,采用该模型对Ti-Al增压涡轮铸件进行模拟计算,并进行了实验验证.结果表明,数学模型能够合理反映离心转速、离心半径、温度梯度和冷却速度等重要因素对微观缩的影响规律,数值模拟结果与实验结果相吻合.分析增压涡轮的计算结果表明,在涡轮轴向,温度梯度值是影响微观缩度如何分布的主要原因;在涡轮径向,温度梯度、冷却速度和离心半径的共同作用决定着微观缩度的变化规律.提高温度梯度,降低冷却速度,充分利用离心压力对枝晶间补缩的有效作用,有利于减少涡轮内部的微观缩,保证叶片和涡轮的组织致密性和力学性能.

关键词: Ti-Al合金 , 微观缩 , 数学模型 , 精密铸件

胆甾相液晶盒贝纳效应实验

杨磊 , 刘洋 , 郑永磊 , 高攀 , 范志新

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20122703.0288

介绍了贝纳效应,胆甾相液晶织构等概念,实验制备出胆甾相液晶平面态样品,用偏光显微镜观察温度场致织构变化,观察到液晶盒在清亮点温度附近出现特殊花纹图案,类似于贝纳效应或者是温度场致方格栅效应.实验现象说明了温度场使液晶分子产生对流,在偏光显微镜下观察双折射干涉,指向矢分布有周期性变化,形成了微观的贝纳花纹.实验现象对于胆甾相液晶基础研究具有一定意义.

关键词: 胆甾相液晶 , 平面织构 , 方格栅效应 , 贝纳效应 , 偏光显微镜

利用造纸废液中浆油制底漆

胡波年 , 胡汉祥 , 李爱阳

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.06.020

研究了用简单分离工艺从造纸废液中分离浆油制备家具底漆及面漆新工艺,对影响其底漆性能的各种因素进行了较为详细的研究,确定了最佳工艺条件.研究结果表明,采用浆油与桐油进行加成反应,酯化温度为220~240℃时所得底漆外观平整光滑,实干时间240min.新工艺制备的家具底漆及面漆性能良好,废液分离工艺简单,具有良好的经济效益与环保效益.

关键词: 浆油 , 桐油 , 造纸废液 , 底漆

装烧结法制备多孔铜

赵红梅 , 付欣 , 贺勇 , 张全孝 , 贾万明 , 苏继红

兵器材料科学与工程

采用装烧结法制备多孔铜,研究了材料密度、孔隙率、拉伸强度与烧结温度的关系。结果表明,在烧结时间均为5 h时,随着铜多孔材料的烧结温度由830℃升高至860、890℃,材料密度逐渐增大、孔隙率逐渐降低,而拉伸强度随之提高;一定尺寸的物质可以顺利通过铜多孔材料,这主要是由于该材料的孔隙具有连通性。

关键词: 铜多孔材料 , 装烧结 , 孔隙率

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