我们利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)在(0001)Al2O3衬底上制备了系列干净的MgB2超薄膜,并通过R-T测量、SEM测量、M-T测量、XRD测量对它们进行了表征,探究了其超导电磁性能和薄膜的生长机制.其中的7.5nm厚的MgB2超薄膜为已报导的蓝宝石衬底上生长的性能最高的超薄膜.
参考文献
[1] | 高建龙,周建中,张莉.MgB2超导薄膜制备方法对比研究[J].物理,2008(07):493-499. |
[2] | 孟胜,张从尧,冯庆荣.c轴取向SiC衬底MgB_2超导厚膜的制备及性质[J].低温物理学报,2010(01):12-15. |
[3] | 谭腾,冯思敏,庄承钢,冯庆荣.离轴生长的MgB2超导薄膜的研究[J].低温物理学报,2010(04):241-247. |
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