热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响

功能材料, 2006, 37(9): 1426-1428.

热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响

杜晓松 ^1, , 杨邦朝 ^2, , 滕林 ^3, , 宋远强 ^4, , 蒋亚东 ^5,

1.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054

2.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054

3.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054

4.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054

5.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054

基金项目: 国防科技预研项目(41323030412)

关键词：压阻系数 , 锰铜 , 镱 , 薄膜 , 微观结构

The effect of annealing on the piezoresitance response of thin film manganin and ytterbium gages

采用磁控溅射法制备锰铜薄膜,溅射和真空蒸发法制备镱薄膜.对热处理前后薄膜的电学性能、微观形貌和结构进行了表征,并采用轻气炮和对顶砧装置对薄膜传感器进行了压阻性能测试,结果表明热处理后薄膜的压阻系数有很大提高.SEM和XRD的分析表明,压阻系数的提高是由于热处理后薄膜晶粒长大、缺陷减少、电阻率下降所致.敏感薄膜的电阻率与传感器的灵敏度直接相关.热处理后,薄膜压阻计的灵敏度已接近箔式传感器的水平,热处理是提高薄膜压阻计灵敏度的有效手段.

参考文献

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