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利用多功能离子束增强沉积(IBED)设备,在Ti6Al4V钛合金表面制备Cr和CrMo合金膜层,以提高钛合金表面的耐磨性能.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、辉光放电光谱仪和显微硬度计分析和测试了IBED膜层的结构、形态、成分分布、硬度和膜基结合强度的大小.利用球-盘磨损试验机和电化学综合测试仪研究了IBED膜层的摩擦学性能和电化学腐蚀特性.结果表明,利用IBED方法可以在难镀材料钛合金表面制备膜基结合强度高、结晶致密和晶粒尺寸达纳米级的高硬度Cr膜和CrMo合金膜层,显著提高了钛合金表面的抗磨性能,且膜层本身有很好的耐Cl-介质环境电化学腐蚀性能,与钛合金基体之间有很好的接触腐蚀相容性.

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