氧等离子体离子注入Ti6A14V表面强化研究

稀有金属材料与工程, 2008, 37(2): 316-319.

氧等离子体离子注入Ti6A14V表面强化研究

辛国强 ^1, , 杨学勤 ^2, , 董楠 ^3, , 田修波 ^4, , 杨士勤 ^5,

1.哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001

2.上海航天技术研究院800所,上海,201600

3.哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001

4.哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001;深圳国际技术创新研究院,深圳市复合材料重点实验室,深圳,518057

5.哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001;深圳国际技术创新研究院,深圳市复合材料重点实验室,深圳,518057

关键词：等离子体浸没离子注入(PⅢ) , Ti6A14V , 氧等离子体

Study on Surface Properties of Ti6A14V Alloy by Oxygen Plasma Immersion Ion Implantation

采用PⅢ对Ti6A14V合金进行表面处理,温度控制在300～400℃之间,利用小掠射角X射线衍射技术(GXRD)、扫描电镜(SEM)研究不同工艺条件下的相结构和表面形貌,并且测量处理后试样的显微硬度、摩擦磨损性能.结果表明:试样表面形成了金红石相,且试样表面变得粗糙;在390℃处理后的试样硬度提高27%,抗磨损性能提高.

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