超声电化学沉积ZnO薄膜及其机理研究

功能材料, 2008, 39(10): 1638-1645.

超声电化学沉积ZnO薄膜及其机理研究

郭艳 ^1, , 沈鸿烈 ^2, , 尹玉刚 ^3, , 李斌斌 ^4, , 高超 ^5,

1.南京航空航天大学,材料科学与技术学院,江苏,南京,210016

2.南京航空航天大学,材料科学与技术学院,江苏,南京,210016

3.南京航空航天大学,材料科学与技术学院,江苏,南京,210016

4.南京航空航天大学,材料科学与技术学院,江苏,南京,210016

5.南京航空航天大学,材料科学与技术学院,江苏,南京,210016

基金项目: 教育部长江学者和创新团队发展计划(PCSIRT0534) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2006AA03Z219)

关键词： ZnO薄膜 , 超声电化学沉积 , c轴取向 , 麦粒状结构 , 透射率

Research on fabrication of ZnO films by ultrasonic electrochemical deposition and its mechanism

采用超声电化学沉积生长了c轴取向的ZnO薄膜,并与常规电化学沉积生长的ZnO薄膜进行了比较.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计研究了样品的晶体结构、表面形貌以及光学性能.结果表明,常规电化学沉积生长的ZnO薄膜为纳米柱状结构,随着沉积电压的增加,c轴取向率呈极值变化,热退火可提高这种薄膜的透射率.超声电化学沉积生长的ZnO薄膜,在1.5V低沉积电压下仍为柱状结构,但比未加超声电化学法沉积的样品具有更好的c轴取向,沉积电压增加到2.0V时样品则变为麦粒状结构,热退火后其透射率几乎不变.

参考文献

[1]	张留成,蔡克峰.纳米氧化锌材料的最新研究和应用进展[J].材料导报,2006(z1):13-15,23.
[2]	Tang ZK.;Yu P.;Kawasaki M.;Ohtomo A.;Koinuma H.;Segawa Y.;Wong GKL. .Room-temperature ultraviolet laser emission from self-assembled ZnO microcrystallite thin films[J].Applied physics letters,1998(25):3270-3272.
[3]	Chou MMC;Chang LW;Chung HY;Huang TH;Wu JJ;Chen CW .Growth and characterization of nonpolar ZnO (1 0 (1)over-bar 0) epitaxial film on gamma-LiAlO2 substrate by chemical vapor deposition[J].Journal of Crystal Growth,2007(2):412-416.
[4]	Zhao Yan;Jiang Yijian;Fang Yan .[J].Journal of Crystal Growth,2007,307:278-282.
[5]	Huang Bo;Li Jing;Wu Y B et al.[J].Materials Letters,2008,62:1316-1318.
[6]	Jin-Ho Choy;Eue-Soon Jang;Jung-Hee Won;Jae-Hun Chung;Du-Jeon Jang;Young-Woon Kim .Hydrothermal route to ZnO nanocoral reefs and nanofibers[J].Applied physics letters,2004(2):287-289.
[7]	O'Brien, S;Koh, LHK;Crean, GM .ZnO thin films prepared by a single step sol-gel process[J].Thin Solid Films,2008(7):1391-1395.
[8]	Tang Yiwen;Luo Lijuan;Chen Zhigang et al.[J].Electrochemistry Communications,2007,9:289-292.
[9]	Elias J;Tena-Zaera R;Levy-Clement C .Electrodeposition of ZnO nanowires with controlled dimensions for photovoltaic applications: Role of buffer layer[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2007(24):8553-8557.
[10]	李春喜,宋红艳,王子镐.超声波在化工中的应用与研究进展[J].石油学报,2001(03):86-94.
[11]	李金钗,朱昱,卢红兵,田玉.ZnO纳米结构的电化学法可控生长及其机理[J].武汉大学学报（理学版）,2007(03):337-341.
[12]	Canava B.;Lincot D. .Nucleation effects on structural and optical properties of electrodeposited zinc oxide on tin oxide[J].Journal of Applied Electrochemistry,2000(6):711-716.
[13]	Li Hong;Li Hairong;Gu Zhichao et al.[J].Ultrasonics Sonochemistry,2006,13:359-363.
[14]	杭方学,丘泰球,贲永光.声结晶技术的研究进展[J].声学技术,2007(03):539-544.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网