优化原位腔清洗工艺可延长清洗之间Al刻蚀腔加工时间(MTBC),不损伤清洗腔内部,同时也保持了合理的产额.Cl/O2能非常有效地去除碳基聚合物,而BCl3/Cl最有利于去除Al副产品.通过提高压力得到了顶盖/侧壁清洗均匀性方面最好的改进.实行最佳清洗工艺后,MTBC提高了4倍.
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