采用ZnO、Al2O3 (2.5％(质量分数))靶材,真空腔温度保持在40℃左右,运用电子束蒸发法制得系列的ZnO∶Al(ZAO)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、光学显微镜、紫外-可见近红外光谱仪、四探针测试仪等仪器对薄膜进行了测定.薄膜呈c轴择优取向的六角纤锌矿结构；具有致密平滑的表面形貌；最佳工艺下样品在702nm波长处透过率达90％；最低电阻率为1.7×10-3Ω·cm.
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