通过自行设计的冷等离子体粉粒纯化系统,将硅粉撒进辉光放电区,以Ar气为反应气体,利用鞘层区域辉光放电的冷等离子体对硅粉料的作用,进行一系列的处理后,硅粉表面形貌平整度明显提高,纯度从98.75 9,6提高到99.56%.在此基础上,设计射频感应放电等离子体的振动倾斜反应室,经实验,将硅粉纯度提高到99.96 9,6,接近太阳级硅的要求,也为该研究未来的发展提供了新的思路和理论参考.
参考文献
| [1] | Benmansour M et al.[J].Surface and Coatings Technology,2008,05:032. |
| [2] | 尹盛,何笑明,王宇,王敬义.冷等离子体冶金中的粒子输运现象研究[J].华中理工大学学报,1999(03):1-3. |
| [3] | 王敬义,王宇,尹盛,何笑明,冯信华,肖成章.冷等离子体冶金效应研究[J].太阳能学报,2000(01):35-39. |
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