通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数.研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料.
参考文献
| [1] | 胡汉军,周万城,李坊森,罗发,朱冬梅,徐洁.包覆工艺制备多孔低介电氮化硅陶瓷的研究[J].功能材料,2008(09):1480-1482. |
| [2] | 张慧萍,晏雄,董跃清.PVDF/PZT/CB高分子复合材料的介电耗能机制[J].高分子材料科学与工程,2004(02):209-212. |
| [3] | 陈平,陈辉,蹇锡高,高巨龙,张岩.环氧树脂体系固化反应及其复合材料介电性能[J].高分子通报,2003(04):1-9. |
| [4] | Gorham W F .[J].Journal of Polymer Science,1966,4(12):3027-3039. |
| [5] | 唐贤臣;鲜晓斌;吉祥波 等.[J].化工新型材料,2007,11:28-31. |
| [6] | 李小龙,褚明福,帅茂兵,廖俊生.聚对二甲苯膜老化的研究进展[J].材料导报,2006(05):54-58. |
| [7] | 赵宗峰,鲜晓斌,唐贤臣,帅茂兵,吉祥波.新型涂敷材料Parylene AF4的研究进展[J].现代化工,2008(06):23-27. |
| [8] | Dolbier Jr W R .[J].Journal of Organic Chemistry,1997,62:7500-7502. |
| [9] | 何轶,周皓,吴抗震,朱荣林,叶匀分.聚一氟对二甲苯的合成及膜性能研究[J].复旦学报(自然科学版),2004(04):668-671. |
| [10] | Dolbier Jr W R .[J].Journal of Fluorine Chemistry,2003,122:97-104. |
| [11] | Martini D;Shepherd K .[J].Applied Srface Science,1999,141:89-100. |
| [12] | Shi-zheng Z;Yun-yu M;Gui-fang Jin .[J].Tetrahedron Letters,2002,43:669-671. |
| [13] | Wu P K;Yang G R;You L .[J].Journal of Electronic Materials,1997,26(08):949-953. |
| [14] | 吴礼群.Parylene敷形涂层[J].电子机械工程,2004(06):51-53,61. |
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