报道了CdZnTe晶片表面钝化后,热处理工艺对其性能的影响.先采用30%的H2O2钝化抛光好的CdZnTe 晶片,然后在恒温干燥箱中进行热处理;最后使用ZC36微电流测试仪、EDX能谱仪和扫描电镜(SEM)研究热处理对钝化后的CdZnTe晶片表面的电学性能、表面成分以及表面形貌的影响.分析表明:CdZnTe钝化后在大气氛围120℃下热处理40 min,表面H2TeO3、H6TeO6等分解较为完全,晶片表面氧化层分布均匀,表面漏电流显著减小,晶体电阻率提高1~2个数量级,对提高探测器的性能有重要作用.
参考文献
[1] | Alan Owens;T. Buslaps;V. Gostilo;H. Graafsma;R. Hijmering;A. Kozorezov;A. Loupilov;D. Lumb;E. Welter .Hard X- and γ-ray measurements with a large volume coplanar grid CdZnTe detector[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment,2006(1):242-248. |
[2] | Verger L .New Developments in CdTe and CdZnTe Detectors for X and γ-ray Application[J].Journal of Electronic Materials,1997,26(06):738-744. |
[3] | Chen KT.;Chen H.;Granderson B.;George MA.;Collins WE.;Burger A.;James RB.;Shi DT. .STUDY OF OXIDIZED CADMIUM ZINC TELLURIDE SURFACES[J].Journal of Vacuum Science & Technology, A. Vacuum, Surfaces, and Films,1997(3 Pt.1):850-853. |
[4] | Wright G W;James R B;Chinn D B et al.Evaluation of NH4 F/H2 O2 Effectiveness as a Surface Passivation Agent for Cd1-xZnx Te Crystals[J].Proceedings of Spie,2000,414:324-335. |
[5] | 于晖,介万奇,查钢强,杜园园,王涛,徐亚东.CdZnTe平面核辐射探测器研究[J].人工晶体学报,2009(03):620-624. |
[6] | 张冬敏,朱世富,赵北君,高德友,陈俊,唐世红,方军,程曦.CdZnTe探测器晶片的表面处理工艺[J].人工晶体学报,2006(04):715-718. |
[7] | 马世昌.基础化学反应[M].西安:陕西科学技术出版社,2003:280. |
[8] | 曹忠良;王珍云.无机化学反应方程式手册[M].长沙:湖南科学技术出版社,1985:36. |
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