钽的CVD动力学规律及显微组织

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基金项目: 云南省自然科学基金国家自然科学基金(50771051)

CVD Kinetics and Microstructure of Ta

简述氢气还原氯化钽化学气相沉积钽(CVD)的主要原理,研究氯化、氯气流量、氢气流量和沉积温度4个参数对沉积速率及沉积层显微组织的影响.结果表明:氯化温度对沉积速率的影响最小,沉积温度的影响最大;显微组织由小晶粒区和柱状晶区组成,沉积参数改变,柱状晶晶粒大小发生变化.

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