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用反应等离子喷涂方法制备了厚度约为500μm的TiN陶瓷涂层,而后对其进行在不同温度,时间,保护气氛下的退火处理,并对涂层的硬度,断裂韧性及残余应力进行了测量.借助SEM对涂层形貌进行了表征,采用XRD测量涂层的残余应力.结果表明:在大气中600℃退火后,涂层硬度最高.而在Ar800℃处理后,涂层韧性有了明显的改善.涂层残余应力为压应力,并且涂层内的残余应力随着热处理温度的升高而增大.

参考文献

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