为了研究电介质材料在微纳米尺度下表面电荷产生的原因,为纳米电介质材料的发展提供实验分析基础,本文利用电场力显微镜(Electrostatic Force Microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面电荷的起因及特性进行了研究.研究表明:采用导电探针施加偏置电压,摩擦接触聚酰亚胺薄膜表面,在微纳米区域内可产生稳定的电荷分布;薄膜的接触电势差约为-4.0V;负电压更易在聚酰亚胺表面注入电荷;针尖运动速度对聚酰亚胺表面电荷的产生影响并不显著.
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