利用等离子体辅助化学气相沉积法（PACVD）在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚度的TiN膜.借助X射线应力分析技术和微拉伸设备,测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变,进而求其等效应力等效单轴应变关系,并由此算得它的条件屈服点σ0.1和σ0.2分别为4.2和4.4GPa, 加工硬化指数为0.36.用纳米压痕仪测得其硬度为25GPa,弹性模量为420GPa. TiN 膜在拉伸过程中发生了塑性变形.
参考文献
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