多孔硅和硅纳米线的减反性能对比研究

表面技术 , 2012, 41(5): 22-24.

1.南京信息职业技术学院,南京 210046

2.南京信息职业技术学院,南京 210046

3.南京信息职业技术学院,南京 210046

4.南京林业大学,南京 210037

基金项目: 南京信息职业技术学院基金课题(YKJ10-016) 国家自然科学基金资助项目(31000164)

Comparative Study on Anti-reflection Effect between Porous Silicon and Silicon Nanowires

基于单晶硅材料,通过阳极电化学腐蚀法制得多孔硅材料,通过湿化学刻蚀法制得硅纳米线材料,经过空气等离子体氧化处理后,采用扫描电子显微镜、傅里叶红外光谱仪对样品的化学组分以及表面微观结构进行了表征.最后对多孔硅和硅纳米线材料的减反效果进行对比,结果表明,硅纳米线具有更优越的减反效果.

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