不同氮含量BCN薄膜的微观结构与摩擦学行为

稀有金属材料与工程, 2014, 43(8): 1886-1889.

不同氮含量BCN薄膜的微观结构与摩擦学行为

陈向阳 ^1, , 张瑾 ^2, , 马胜利 ^3, , 胡海霞 ^4,

1.安徽理工大学,安徽淮南232001

2.安徽理工大学,安徽淮南232001

3.西安交通大学,陕西西安710049

4.安徽理工大学,安徽淮南232001

基金项目: 国家自然科学基金资助(50671079)

关键词： AEMS , BCN薄膜 , 微观结构 , 硬度 , 摩擦系数

Microstructure and Tribological Behavior of BCN Thin Films with Different Nitrogen Contents

Keywords： AEMS , BCN thin films , microstructure , hardness , friction coefficient

用电弧增强反应磁控溅射方法(AEMS)在高速钢(W18Cr4V)基体上制备出具有耐磨减摩性能的BCN薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了氮含量对薄膜微观结构的影响;用显微硬度计和销盘式摩擦磨损仪研究了薄膜硬度和摩擦学行为.结果表明:用AEMS方法制备的BCN薄膜为非晶结构,薄膜中的B-N键的含量随氮含量增加而增加;薄膜中氮含量的增加使薄膜的硬度和摩擦系数升高,磨损率降低.

参考文献

[1]	唐利强,刘军,陈志刚,吴燕杰.TiN中间层对CNx薄膜摩擦学性能的影响[J].稀有金属材料与工程,2008(z1):477-480.
[2]	Pan WJ.;Sun J.;Ling H.;Wu N.;Ying ZF.;Wu JD. .Preparation of thin films of carbon-based compounds[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,2003(1/4):297-304.
[3]	Linss V;Rodil SE;Reinke P;Garnier MG;Oelhafen P;Kreissig U;Richter F .Bonding characteristics of DC magnetron sputtered B-C-N thin films investigated by Fourier-transformed infrared spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2004(1/2):76-87.

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