电子束曝光制备YBa2Cu3O7-δ纳米级桥宽双晶结

低温物理学报 , 2015, 37(6): 435-438.

电子束曝光制备YBa2Cu3O7-δ纳米级桥宽双晶结

花涛 ^1, , 许伟伟 ^2, , 熊焰明 ^3, , 王青云 ^4, , 余辉龙 ^5, , 梁瑞宇 ^6, , 沈卫康 ^7,

1.南京工程学院通信工程学院,南京,211167

2.南京大学超导电子学研究所,南京,210093

3.江苏伊施德创新科技有限公司,江苏无锡,214028

4.南京工程学院通信工程学院,南京,211167

5.南京工程学院通信工程学院,南京,211167

6.南京工程学院通信工程学院,南京,211167

7.南京工程学院通信工程学院,南京,211167

基金项目: Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No.61501222) and the School Scientific Research Fund of Nanjing Institute of Technology (Grant Nos.YKJ201321, ZKJ201202, YKJ201322). 国家自然科学基金(批准号:61501222)、南京工程学院校级科研基金(批准号:YKJ201321、ZKJ201202、YKJ201322)资助的课题

关键词：纳米级桥宽约瑟夫森双晶结 , 电子束曝光 , 太赫兹 , 晶界微桥宽度

FABRICATING YBCO NANOSCALE MICROBRIDGE JUNCTION BY ELECTRON BEAM

Keywords： nanoscale microbridge bicrystal junction , electron beam , Terahertz , microbridge width

传统的紫外线曝光难以制备微桥宽度不超过1微米的双晶约瑟夫森结.我们利用电子束曝光技术制备了纳米级别(几百纳米)桥宽YBa2Cu3O7-a双晶结,具有优良的电流-电压特性和微波响应特性.并分析60 K温度下100纳米膜厚的双晶结微桥宽度的变化对结正常态电阻RN、超导临界电流Ic、特征电压IcRN的影响规律.通过考虑结与外部微波电路的阻抗匹配、结检测太赫兹波灵敏度、超导电流大小对高次微波响应台阶影响以及结的特征电压四个因素,得到最佳的太赫兹波检测器中双晶结的微桥宽度为1微米左右.

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