本文基于双波长飞秒激光抽运 探测系统,建立了非接触式热物性扫描成像系统.实现对具有微米尺度结构材料的表面热物性扫描探测,空间分辨率为6μm.我们采用这种方法对Cu、Sn材料组成的微结构进行了扫描热成像.结果表明该方法可以实现微米结构材料的热物性扫描成像,但是热物性测量结果的准确性与待测样品表面粗糙状况密切相关.因此对于使用该方法进行微米分辨的热物性扫描成像时,对样品表面要进行有效的平滑处理.
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