乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为

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6.云南瑞升科技有限公司,云南,昆明,650106

基金项目: 国家科研院所技术开发研究专项基金(2004EG115047) 云南省科研院所技术开发专项基金(2003KFZX-15)

Thermal Behavior of Palladium(Ⅱ) Acetylacetonate

采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为.通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气.

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