采用HF-CVD法,在氩.氧等离子气氛中,将WCl6进行氧化反应,经骤冷制各出纳米级的WOx微晶.把WCl6进料温度为350℃时所得微晶用TEM、XRD、XPS进行了测试.结果表明:微晶呈近球形,粒径范围为15～65 nm,统计平均粒径为39.0 am,微晶为WO3和WO2.90的复合混晶体.综合分析可知:WOx纳米微晶呈包裹式层状结构,晶粒内核为WO2.90,外壳为WO3.对微晶的形成机制进行了初步探讨.苯酚降解实验表明,固定化的WOx微晶薄膜具有明显的光催化活性.
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