纳米集成电路用大直径硅及硅基材料研究进展

功能材料, 2004, 35(z1): 65-68.

1.半导体材料国家工程研究中心,北京有色金属研究总院,北京,100088

Research and development of large diameter silicon and silicon-Based materialsfor nanometer integrated circuits

本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状,讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势,展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景.

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