UBMS合成的SiNO/Ti6Al4V薄膜的性能研究

功能材料, 2009, 40(3): 433-435.

1.西南交通大学,材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,人工器官四川省重点实验室,四川,成都,610031

2.西南交通大学,材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,人工器官四川省重点实验室,四川,成都,610031

3.西南交通大学,材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,人工器官四川省重点实验室,四川,成都,610031

4.西南交通大学,材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,人工器官四川省重点实验室,四川,成都,610031

5.西南交通大学,材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,人工器官四川省重点实验室,四川,成都,610031

基金项目: 国家自然科学基金(30570502)

Research on the properties of SiNO/Ti6Al4V films by UBMS

利用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V合金表面制备SiNO薄膜,对不同氮气流量下SiNO薄膜样品的耐磨性和耐蚀性进行研究.结果表明,SiNO薄膜样品具有优异的耐磨性和耐蚀性能.研究认为影响SiNO薄膜性能的主要因素为薄膜中的氮原子百分含量及化合物存在状态.

[1]	奚廷斐 .[J].材料与制造,2006,5(12):1-4.
[2]	冯波;翁杰;屈树新.[J].功能材料,2005(04):12.
[3]	邓迟;李秀芬;邓敏等.[J].乐山师范学院学报,2004,5(19)
[4]	Zhiqiang Yao;Ping Yang;Nan Huang et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B:Beam Interaction with Materials and Atoms,2005,240:741-751.
[5]	Yang Ping;Huang Nan;Leng Yongxiang et al.[J].Key Engineering Materials,2005,288-289:338.
[6]	Lacknere J M;Waldhauser W;Berhauser R.[J].Surface and Coatings Technology,2005(192):225-230.
[7]	Barranco A.;Yubero F.;Espinos JP.;Holgado JP.;Caballero A. Gonzalez-Elipe AR.;Mejias JA. .Structure and chemistry of SiOx (x < 2) systems[J].Vacuum: Technology Applications & Ion Physics: The International Journal & Abstracting Service for Vacuum Science & Technology,2002(3/4):491-499.
[8]	沈广霞,陈艺聪,林昌健.TiO2/316L不锈钢薄膜电极在NaCl溶液中的耐腐蚀性能[J].电化学,2005(01):20-26.
[9]	沈广霞,陈艺聪,林昌健.疏水型纳米TiO2膜的制备、表征及耐蚀性能研究[J].电化学,2004(01):65-69.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分