SiC单晶片的材质既硬且脆,加工难度很大,通过ELID磨削技术超精密加工SiC单晶片是一种高效的加工方法,而氧化膜的特性是ELID磨削技术的关键.本文研究了ELID磨削中氧化膜的形成规律,基于电化学基本原理,建立了砂轮表面氧化膜形成过程的一般模型,并对电压、占空比等工艺参数对金属结合剂砂轮表面氧化膜形成特性的影响进行了研究.结果表明:氧化膜厚度和生长率随着电压和占空比的增加而增加,随后逐渐降低并趋于稳定.根据SiC单晶片硬脆性质,在超精密加工SiC单晶片时,开始阶段采用较高电压(120 V)和较高占空比(2/3),在稳定阶段采用较低电压(90 V)和较低占空比(1/4).
参考文献
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| [4] | 朱育权,马保吉,D.J.Stephenson.ELID 超精密磨削砂轮表面氧化膜形成过程的建模和仿真[J].工具技术,2008(05):11-14. |
| [5] | 朱育权,马保吉,D. J. Stephenson.ELID超精密磨削砂轮表面氧化膜形成行为的实验研究[J].铸造技术,2008(08):1113-1115. |
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