多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺

1.清华大学,材料科学与工程系,北京,100084

2.清华大学,深圳研究生院,广东,深圳,518057

3.清华大学,材料科学与工程系,北京,100084;清华大学,深圳研究生院,广东,深圳,518057

4.清华大学,材料科学与工程系,北京,100084;清华大学,深圳研究生院,广东,深圳,518057

5.清华大学,材料科学与工程系,北京,100084

6.北京市太阳能研究所,北京,100083

7.北京市太阳能研究所,北京,100083

基金项目: 北京市自然科学基金(2021001)

The Substrates and Their Preparation for Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell

研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.

[1]	Von Keitz A.2nd World Conference on PV Solar Energy Conversion[C].Vienna:WCSEC,1998:1829.
[2]	Breymesser A.2nd World Conference and Exhibition on Photovoltaic Solar Energy Conversion[C].Vienna:WCSEC,1998
[3]	Beldi N.14th European Photovoltaic Solar Energy Conference[C].Barcelona:WCSEC,1997
[4]	Nell M E;Braun A.Elstner,Solar Cells from Thin Silicon Layers on Al2O3[M].Sapporo:Technical Digest of the International PVSEC-11,1999
[5]	Schiermeier S E.2nd World Conference on PV Solar Energy Conversion[C].Vienna:WCSEC,1998:1673.
[6]	李海峰 .[J].稀有金属材料与工程,2003,32(z1):537.

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