对Ti6A14V钛合金进行真空热氧化处理.通过显微组织观察、显微硬度测试、X射线衍射(XRD)及扫描电镜(SEM)分析,研究了该合金氧化层的结构和性能.结果表明,真空热氧化渗氧处理可促进氧向基体扩散,表面形貌出现均匀的凹坑结构,氧化层中的TiO2转变为TiO,表面硬化层中发现有Ti3Al相形成.Ti6A14V钛合金经真空热氧化后表面硬度达600 ～ 620 HV,硬化层深度可达30 μm,膜层组织致密均匀,硬度梯度平缓,耐磨性好.
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