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用一种推广的幂指数散射截面求解了溅射输运方程, 获得更加一般的渐近解.这个渐近解不但以Urbassek等人几年前所给出的两个解为其特殊情况, 而且还为作者提出的SC解提供了新的证据. 此外通过计算并分析了Vicanek等人发表的新的输运理论, 发现他们所提出的转换理论结果与Monte Carlo模拟结果一致是不正确的.

参考文献

[1] Behrisch R.Sputtering by Particle Bombardment I[M].Berlin:Springer-Verlag,1981:65.
[2] Zhang Z L .[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B:Beam Interaction with Materials and Atoms,1999,149:272.
[3] Urbassek H M;Conrad U .[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B:Beam Interaction with Materials and Atoms,1992,69:413.
[4] Vicanek M;Conrad U;Urbassek H M .[J].Physical Review B,1993,47(02):617.
[5] Zhang Z L .[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B:Beam Interaction with Materials and Atoms,1999,152:252.
[6] Wilson W D;Haggmark L G;Biersack J P .[J].Physical Review B,1977,15:2458.
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