Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能

硅酸盐通报 , 2009, 28(3): 619-623.

Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能

刘全生 ^1, , 张希艳 ^2, , 柏朝晖 ^3, , 王能利 ^4, , 王晓春 ^5, , 米晓云 ^6, , 卢利平 ^7, , 孔智艳 ^8,

1.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

2.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

3.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

4.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

5.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

6.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

7.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

8.长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

基金项目: 国家自然科学基金(50772016)

关键词： Mg0.3Zn0.7O薄膜 , 溶胶凝胶法 , 硅衬底 , 紫外发光

Structure and Optical Properties of Mg0.3Zn0.7O Film Deposited on Si Substrate

采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7 O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能.结果表明:Si衬底上Mg0.3.Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀,平均粒径约为40 nm.吸收光谱中吸收边位于313 nm,相应的带隙为3.96 eV.发光光谱是峰值位于421 nm的宽带谱,激发光谱范围宽,具有近紫外激发优势.

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