SiCF的热解碳涂层的制备

稀有金属材料与工程, 2007, 36(z2): 690-692.

SiCF的热解碳涂层的制备

赵锴 ^1, , 于新民 ^2, , 罗发 ^3, , 朱冬梅 ^4, , 周万城 ^5,

1.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

2.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

3.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

4.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

5.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

基金项目: 国家自然科学基金(90305016)

关键词：热解碳 , 沉积速率 , 形貌 , 丙烯

Preparation of Pyrocarbon Coatings on SiCF

以C3H6为源气体,N2为稀释气,在800℃～1200℃温度范围内,SiC纤维上进行了热解碳的沉积.研究了沉积温度、系统压力和PN2/PC3H6对热解碳沉积速率和沉积层形貌的影响.结果表明:在沉积温度低于900℃,系统总压小于1 KPa条件下,沉积速率低,难以进行热解碳的沉积.随着沉积温度、系统压力升高,沉积速率升高,沉积层形貌发生改变.过低的PN2/PC3H6导致不均匀的热解碳沉积形貌,局部有碳颗粒的生成.沉积温度为1000℃、系统总压10 KPa左右、PN2/PC3H6为2:1的条件下可获得均匀致密的热解碳沉积层.反应热力学和动力学条件随工艺参数的改变而改变,这是热解碳沉积层形貌改变的主要原因.

参考文献

[1]	Evans A G .[J].Acta Metallurgica Et Materialia,1989,37(10):2567.
[2]	Kerans R J;Hay R S;Pagano N J .[J].American Ceramic Society Bulletin,1989,68(02):429.
[3]	Kerans R J .[J].Scripta Metallurgica et Materialia,1995,32(04):5405.
[4]	Becker A.;Huttinger KJ. .Chemistry and kinetics of chemical vapor deposition of pyrocarbon - III - Pyrocarbon deposition from propylene and benzene in the low temperature regime[J].Carbon: An International Journal Sponsored by the American Carbon Society,1998(3):201-211.
[5]	Feron O et al.[J].Carbon,1997,37:1343.

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