为分析微梳齿谐振器在空气阻尼下高频振动的动态特性,采用ANSYS参数化设计语言APDL进行编程分析,程序中将微谐振器模型简化成有面积的质量点,对质量点添加条件和约束建立分析模型,用FLUID139单元设置空气层模型,用TRANS126单元设置叉指换能模块,通过此程序求解的真空条件下的共振频率与理论分析结果基本吻合.与现有方法相比,该方法快速、实用、具有更好的适应性.
参考文献
| [1] | 高钟毓,董景新,张嵘.微机电传感器发展及应用的现状与趋势[J].机械工程学报,2003(11):7-16. |
| [2] | 张冬至,胡国清.微机电系统关键技术及其研究进展[J].压电与声光,2010(03):513-520. |
| [3] | 郭玮玮,国蓉,王伟,霍鹏飞,王小娟.基于ANSYS的微谐振器模态分析[J].兵工自动化,2008(11):32-33,36. |
| [4] | 章彬,刘清惓,黄庆安.空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响[J].电子学报,2002(06):827-830. |
| [5] | 宫恩祥,黄铭科,巫建波,丁亚娜,潘兵辉.基于APDL参数化建模的轴系可靠性[J].排灌机械工程学报,2010(06):506-509. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%