采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜.研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响.实验结果表明:定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善.在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10 min时,薄膜磁性能最佳.
参考文献
| [1] | 茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声.微机械微波/射频开关的制备和功能测量研究[J].半导体技术,2002(11):11-14. |
| [2] | 王亦忠.永磁薄膜的研究现状[J].磁性材料及器件,2001(04):27-33,13. |
| [3] | Kim Y B;Cho S H;Kim H T;Ryu K S Lee S H Lee K H Kapustin G A.[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,2004(05):1917. |
| [4] | Speliotis Thanassis;Niarchos Dimitris;Skumryev Vassil;Zhang Yong Hadjipanayis George.[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,2004(05):877. |
| [5] | Yang JH.;Kim MJ.;Cho SH.;Kim HT.;Kim YB.;Kim DH.;Kapustin GA.;Lee KH. .Effects of composition and substrate temperature on the magnetic properties and perpendicular anisotropy of NdFeB thin films[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,2002(3):374-378. |
| [6] | 刘金声.离子束沉积薄膜技术及应用[M].北京:国防工业出版社,2003 |
| [7] | 陈光华;邓金祥.纳米薄膜技术与应用[M].北京:化学工业出版社,2003 |
| [8] | 黄永杰.磁性材料[M].北京:电子工业出版社,1994 |
| [9] | Vial F;Rozendaal E;Sagawa M .[J].Rare-Earth Magnets and Their Applications,1998,1:401. |
| [10] | 何叶青;熊科 et al.[J].中国稀土学会,1999,30(05):19. |
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