紫外曝光在ZrO2薄膜上引入微结构的研究

材料导报, 2005, 19(9): 126-130.

紫外曝光在ZrO2薄膜上引入微结构的研究

徐翔 ^1, , 周斌 ^2, , 沈军 ^3, , 倪星元 ^4, , 徐超 ^5, , 侯今强 ^6,

1.同济大学波尔固体物理研究所,上海,200092

2.同济大学波尔固体物理研究所,上海,200092

3.同济大学波尔固体物理研究所,上海,200092

4.同济大学波尔固体物理研究所,上海,200092

5.同济大学波尔固体物理研究所,上海,200092

6.同济大学波尔固体物理研究所,上海,200092

基金项目: 教育部跨世纪优秀人才培养计划上海市科委国际合作项目(02SL001) 上海市自然科学基金(02ZE14101) 国家自然科学基金(20133040) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA842052)

关键词： Sol-gel法 , ZrO2 , 光敏凝胶 , 光栅

The Research of Micro-structure on ZrO2 Photosensitive Gels Film by UV Exporsure

以锆酸丁酯和苯甲酰丙酮为源,结合Sol-gel工艺,以溶液浸渍法制备具有负性光刻胶性质的ZrO2光敏凝胶.再通过掩膜紫外曝光经显影工艺获得光栅周期在2～10μm,深度120～200nm的ZrO2薄膜光栅.采用紫外分光光度计、红外分光光度计、AFM监控图形转移过程研究了图形精确转移的工艺并优化了工艺参数.

参考文献

[1]	倪星元,周斌,吴广明,沈军,王珏.溶胶-凝胶法制备惯性约束聚变靶材料研究[J].原子能科学技术,2002(04):301-304.
[2]	Noboru Tohge;Ryuichi Ueno;Fumio Chiba;Kenji Kintaka;Junji Nishii .Characteristics of Diffraction Gratings Fabricated by the Two-Beam Interference Method Using Photosensitive Hybrid Gel Films[J].Journal of Sol-Gel Science and Technology,2000(1/3):119-123.
[3]	周斌,邱恒山,刘小林,沈军,吴广明,孙骐,黄耀东,艾琳.一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究[J].强激光与粒子束,2004(03):305-308.
[4]	NAOKI NOMA;SAORI YAMAZAKI;NOBORU TOHGE .Preparation of New Photosensitive ZrO_2 Gel Films Using Hydroxyl-Substituted Aromatic Ketones as Chemical Modification Reagents and their Patterning[J].Journal of Sol-Gel Science and Technology,2004(1/3):253-256.

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The Research of Micro-structure on ZrO2 Photosensitive Gels Film by UV Exporsure

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