水热处理对SnO2厚膜气敏传感器性能的影响

功能材料, 2005, 36(9): 1415-1417.

水热处理对SnO2厚膜气敏传感器性能的影响

徐红燕 ^1, , 李梅 ^2, , 刘秀琳 ^3, , 孙海燕 ^4, , 王成建 ^5, , 崔得良 ^6, , 蒋民华 ^7,

1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

2.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

3.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

4.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100;山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

5.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100;山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

6.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

7.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

基金项目: 教育部科学技术研究重点项目(305010,104110,20020422057) 山东省优秀中青年科学家科研奖励基金(305010,104110,20020422057) 教育部科学技术研究博士点基金(305010,104110,20020422057) 国家自然科学基金(50272036,20473048,90206042) 教育部科学技术研究重点项目(04BS04001)

关键词： SnO2纳米粉 , 水热处理 , 气敏传感器 , 灵敏度 , 选择性

The influences of hydrothermal treatment on the properties of SnO2 thick film gas sensors

研究了水热处理对于SnO2厚膜气敏传感器性能的影响.为了便于作对比,首先把SnO2纳米粉(平均粒径约200nm)平均分为两份:一份不经处理,直接用传统的厚膜传感器制备工艺制成气敏传感器(称为"原粉传感器");另一份经过200℃水热处理后,用同样的工艺制备成厚膜气敏传感器(称为"预处理粉传感器").利用乙醇、丙酮、CH4、H2和CO气体对这两种气敏传感器的性能进行了测试,结果表明预处理粉传感器的灵敏度和选择性明显优于原粉传感器.为了分析出现这种差异的原因,我们对这两种传感器的显微结构进行了分析,并在此基础上对实验现象进行了讨论.

参考文献

[1]	张耀华;李民强 .[J].功能材料与器件学报,1997,3:203-207.
[2]	方国家,刘祖黎,吉向东,王汉忠,黄宜军,姚凯伦.Y2O3-SnO2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究[J].无机材料学报,2001(01):69-74.
[3]	李爱武,全宝富,刘凤敏,陈丽华.Sol-Gel法制备低阻SnO2薄膜[J].功能材料,2001(06):645-646,648.
[4]	Yu J H;Choi G M .[J].Sensors and Actuators B-Chemical,2001,75:56-61.
[5]	Chiorino A;Ghiotti G;Prinetto F et al.[J].Sensors and Actuators B:Chemical,1999,58:338-349.
[6]	Galdikas A;Mironas A;Setkus A .[J].Sensors and Actuators B-Chemical,1995,26-27:29-32.

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