立方相MgxZn1-xO纳米晶体薄膜的物理特性

功能材料, 2004, 35(z1): 386-389.

立方相MgxZn1-xO纳米晶体薄膜的物理特性

吴惠桢 ^1, , 梁军 ^2, , 劳燕锋 ^3, , 陈乃波 ^4, , 徐天宁 ^5, , 邱东江 ^6,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

4.浙江大学,物理系,浙江,杭州,310027

5.浙江大学,物理系,浙江,杭州,310027

6.浙江大学,物理系,浙江,杭州,310027

基金项目: 国家自然科学基金(10174064) 上海市科委资助项目(0352nm092)

关键词：立方相MgxZn1-xO薄膜 , 微结构 , 光学特性

Physical properties of cubic MgxZn1-xO nano-films

介绍了在Si衬底和石英玻璃衬底上生长的立方相MgxZn1-xO(0.55≤x≤1)晶体薄膜的物理特性,AFM和XRD等微结构特性表征显示了良好的表面形貌和高度的(111)取向生长特性.采用Manifacier方法,根据透射光谱中的干涉峰,计算得到立方相MgxZn1-xO薄膜的折射率.与已报道的六方相MgxZn1-xO(0≤x≤0.5)薄膜的折射率相类似,在400～800nm的可见光区域,不同Mg含量的立方相MgxZn1-xO薄膜,其折射率随入射波长的色散关系遵循一阶Sellmeier方程.对给定400nm的入射光波长,当薄膜中的Mg含量由55%增至100%时,其折射率由1.89衰减至1.73.

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