用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导

功能材料, 2004, 35(z1): 1494-1496.

1.同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092

2.同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092

3.同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092

4.同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092

5.同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092

6.深圳豪恩电声科技有限公司,广东,深圳,518109

7.深圳豪恩电声科技有限公司,广东,深圳,518109

基金项目: 国家自然科学基金(50073016) 德国大众汽车基金(Ref.I/77365)

Charge stability and surface conductance of electret layer applied in Si-based miniature sonic transducer

通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.

[1]	夏钟福.驻极体[M].北京:科学出版社,2001
[2]	The effect of adsorbed gases on the surface conductivity of quartz[J].Journal of Applied Physics,1977,48(07):2950-2954.

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