溅射参数对(Zr,Ti)N复合镀层耐蚀性的影响

腐蚀与防护, 2008, 29(8): 464-466.

溅射参数对(Zr,Ti)N复合镀层耐蚀性的影响

张炜强 ^1, , 胡松青 ^2, , 李飞 ^3, , 杜善波 ^4,

1.中海油基地集团采技服湛江化学公司,湛江,524057

2.中国石油大学(华东),东营,257061

3.中海油基地集团采技服湛江化学公司,湛江,524057

4.胜利油田胜利工程技术有限责任公司,东营,257061

关键词：真空磁控溅射 , (Zr,Ti)N复合镀层 , 工艺参数 , 耐蚀性

Effect of Sputtering Parameters Oil Corrosion Resistance of(Zr,Ti)N Composite Film

用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积(Zr,Ti)N复合镀层,改变溅射工艺参数(温度、Ar/N2流量比、基体偏压)制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30～60 min,用极化曲线和Tafel直线外推法,确定各试样的耐蚀性的差异.结果表明,溅射工艺参数对镀层的耐蚀性影响较大.从耐蚀性方面考虑,推荐工艺参数为:溅射温度350℃,At/N2流量比60/30(SCCM),基体偏压120 V.

参考文献

[1]	黄佳木,徐成俊,王亚平.室温磁控溅射制备（Ti,Zr）N薄膜及其性能研究[J].材料科学与工程学报,2005(05):517-520.

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