钛表面纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

稀有金属材料与工程, 2013, 42(6): 1165-1168.

钛表面纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

赵勇 ^1, , 华云峰 ^2, , 王彦峰 ^3, , 李争显 ^4,

1.长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室,陕西西安710064

2.西北有色金属研究院,陕西西安710016

3.西北有色金属研究院,陕西西安710016

4.西北有色金属研究院,陕西西安710016

关键词：纳米复合Si-C-N超硬薄膜 , 显微结构 , 断裂韧性 , 摩擦系数 , 耐蚀性能

Microstructure and Properties of Si-C-N Nanocomposite Films on Titanium Substrate

Zhao Yong ^1, , Hua Yunfeng ^2, , Wang Yanfeng ^3, , Li Zhengxian ^4,

1.长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室,陕西西安710064

2.西北有色金属研究院,陕西西安710016

3.西北有色金属研究院,陕西西安710016

4.西北有色金属研究院,陕西西安710016

Keywords： Si-C-N nanocomposite films , microstructure , fracture toughness , friction coefficient , corrosion resistance

采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在钛表面制备纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的显微结构、相组成、硬度、韧性、摩擦学行为和耐蚀性能.结果表明,薄膜形成了C-C、C=C、N-C以及Si-C非晶复合组织结构.薄膜的硬度为(38.2±4.1) GPa,断裂韧性为(3.68±0.32) MPa·m1/2.薄膜的摩擦系数为0.23左右,具有良好的抗摩擦磨损能力.沉积Si-C-N薄膜的TA2试样在25℃、3.5％NaC1水溶液中的腐蚀速率为0.000 125 mm·a-1,是纯TA2的12.5％,具有良好的耐蚀性能.

参考文献

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