研究了ZAO透明导电薄膜的微观组织结构、化学成分及其电学光学特性。结果表明，多晶ZAO薄膜呈柱状晶并具有（002）面择优取向，c轴晶格常数大于0.52000nm;ZAO薄膜不同微区之间的成分不均匀导致了电学性能的不均匀;ZAO薄膜的电阻率和在可见光区的平均透射率分别为1.39×10-4 Ω•cm和80.8%,其透射率和吸收率曲线均具有明显的波动性,该波动性影响以ZAO为阳性的有机发光二极管的发射光谱,在5.38A/m2 电流密度下二极管的发光效率大于2 cd/A.
参考文献
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