采用金属等离子体离子注入的方法, 在Ａｇ基体上注入了Ａｌ, 用Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对注入层的Ａｌ浓度－深度分布和化学态进行了分析, 用 射法（ＸＲＤ）对注入层和非平衡磁控溅射的Ａｌ沉积层相组成进行了测定和比较, 选用小掠射角（３°）ＸＲＤ对注入层的相组成进行了测定, 结果表明, 注入层中Ａｌ浓度沿深度方向逐渐降低, 表面有Ａｇ原子存在；近表面处形成了Ａｇ－Ａｌ固溶体并且出现了少量的μ－Ａｇ３Ａｌ相
参考文献
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