反应溅射氧化铝薄膜对CoCrAlY涂层抗高温氧化性能的影响

腐蚀学报（英文）, 1992, 4(4): 277-282.

反应溅射氧化铝薄膜对CoCrAlY涂层抗高温氧化性能的影响

王福会 , 朱圣龙 , 楼翰一 , 吴维

沈阳110015

中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室

沈阳110015

中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室

沈阳110015

关键词：氧化铝薄膜 , CoCrAlY coating , oxidation

EFFECT OF REACTIVELY SPUTTERED ALUMINA FILM ON OXIDATION RESISTANCE OF CoCrAlY COATING

WANG Fuhui , ZHU Shenglong. LOU Hanyi , WU Weitao(Corrosion Science Laboratory , Institute of Corrosion and Potection of Metals. Academia Sinica

Keywords： alumina films , CoCrAlY涂层 , 高温氧化

研究了反应溅射氧化铝薄膜对CO-30Cr-6Al-0.5Y涂层抗高温氧化性能的影响。结果表明,3.5μm厚的Al_2O_3薄膜可大大改善CoCrAlY涂层抗1000～1100℃的氧化性能。在1000℃下,C0-30Cr-6Al-0.5Y涂层表面可以形成保护性良好的Al_2O_3膜,在此情况下,反应溅射Al_2O_3膜可大幅度降低CoCrAlY涂层的氧化速率,在1100℃,CoCrAlY涂层己不能形成单一具有保护性的Al_2O_3膜,而预先沉积氧化铝薄膜的COCrAlY涂层表面的氧化物主要由α-Al_2O_

Thin alumina films have found applications in electronic circuits and cutting tools. Recently, these films have been explored as protective coatings against high temperature oxidation, but only a few papers were devoted to the subject.In this study, the a

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