通过X射线衍射测试、薄片观察、SEM形貌分析、显气孔率和体积密度测量等方法,对熔融石英坩埚在烧结和铸锭过程中的物相、结构和性质变化进行了表征;为提高坩埚的强度和致密性,分别进行了烧结实验和硅溶胶浸渍实验.在本实验条件下,α-方石英的(101)衍射峰强度与坩埚结晶度呈线性相关(相关系数r=0.9999),可应用于坩埚结晶度的检测;保温时间为6h时,坩埚烧结的上限温度为1170℃,此时其结晶度为0.6％;比较了不同的硅溶胶浸渍方式对于坩埚致密度的影响,其中真空浸渍效果较明显,使得坩埚的显气孔率下降13％,体积密度上升7％.
参考文献
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