为了得到较为优化的射频空心阴极等离子体放电参数,提高放电气体分布的均匀性,以改善材料表面改性的均匀性,构建了射频空心阴极等离子体放电气体流动的数学模型,应用Flu-ent软件对放电气体分布进行有限元模拟,得出了较为优化的放电参数;另选择一组放电参数对电池隔膜进行表面改性试验,通过测试电池隔膜的最大吸碱量,得出较优的放电参数.结果表明:试验优选放电参数和模拟所得出的优选放电参数较为吻合,证明了有限元模拟的可行性与实用性;得出的较优放电参数是阳极孔径为8 mm,进气流量为5 L·min-1,试样距离为20 mm.
参考文献
| [1] | Barankova H.;Bardos L. .Hollow cathode cold atmospheric plasma source with monoatomic and molecular gases[J].Surface & Coatings Technology,2003(0):649-653. |
| [2] | 王成刚 .PECVD的布气装置优化设计及沉积参数研究[D].上海大学,2010. |
| [3] | 冯煜东,王艺,王志民,速小梅,赵慨.多靶连续卷绕镀膜机溅射室布气均匀性研究[J].真空科学与技术学报,2006(z1):40-43. |
| [4] | Naddaf, M.;Saloum, S.;Alkhaled, B. .Atomic oxygen in remote plasma of radio-frequency hollow cathode discharge source: Characterization and efficiency[J].Vacuum: Technology Applications & Ion Physics: The International Journal & Abstracting Service for Vacuum Science & Technology,2010(3):421-428. |
| [5] | Ningel KP.;Engemann J.;Theirich D. .Characterizing the remote plasma polymerization of octafluorocyclobutane induced by RF-driven hollow-cathode discharge[J].Surface & Coatings Technology,1998(1/3):1142-1147. |
| [6] | 姚征,陈康民.CFD通用软件综述[J].上海理工大学学报,2002(02):137-144. |
| [7] | 温贻芳,陈新,王士喜,芮延年,王红卫.空心阴极远区等离子体接枝聚合表面改性丙纶无纺布的吸碱性能[J].机械工程材料,2011(08):70-74. |
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