不锈钢箔片上溅射沉积25nm的钛底膜后,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧气氛下进行热处理.XRD分析看出,薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型.测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量含量约64%,其晶粒尺寸约14nm.用"弯曲法"测试表明,膜基结合力强.由对苯酚溶液的降解实验看出,制备光催化薄膜具有较好的光催化活性.
参考文献
| [1] | 陈德明,王亭杰,雨山江,金涌.纳米TiO2的性能、应用及制备方法[J].材料工程,2002(11):42-47. |
| [2] | Sumita S;Otsuka H;Kubota H et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B:Beam Interaction with Materials and Atoms,1999,148:758-761. |
| [3] | 贺飞,唐怀军,赵文宽,方佑龄.纳米TiO2光催化剂负载技术研究[J].环境污染治理技术与设备,2001(02):47-58. |
| [4] | Fernandz A;Lassaletta G;Jimenez V M et al.[J].Applied Catalysis B:Environmental,1995,7:49-63. |
| [5] | 赵青南,刘保顺,赵修建,SLEIGHT A W.基片温度对直流反应磁控溅射法制备玻璃基TiO2薄膜结构与亲水性的影响[J].硅酸盐学报,2003(07):678-681. |
| [6] | De ki S;Aoi Y;Hiroi O et al.[J].Chemistry Letters,1996,9:433-434. |
| [7] | 朱永法,李巍,何俣,尚静.不锈钢金属丝网上TiO2纳米薄膜光催化剂的研究[J].高等学校化学学报,2003(03):465-468. |
| [8] | 刘世军,王培英.用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO2薄膜[J].电子元件与材料,1999(06):5-6. |
| [9] | 董昊,张永熙,杨锡良.直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜的光催化性研究[J].真空科学与技术学报,2000(04):252. |
| [10] | 赵坤,朱凤,王莉芳,孟铁军,张保澄,赵夔.反应溅射法制备TiO2薄膜[J].物理学报,2001(07):1390-1395. |
| [11] | 王怡中,胡春,汤鸿霄.在TiO2催化剂上苯酚光催化氧化反应研究2.多相光催化氧化与直接光解反应的比较[J].环境科学学报,1998(03):260-264. |
| [12] | Mardare D.;Delibas M.;Rusu GI.;Tasca M. .On the structural properties and optical transmittance of TiO2 r.f. sputtered thin films[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,2000(1/4):200-206. |
| [13] | 高伟,吴凤清,罗臻,富菊霞,王德军,徐宝琨.TiO2晶型与光催化活性关系的研究[J].高等学校化学学报,2001(04):660-662. |
| [14] | 李顺林,卢翔,朱正吼,骆心怡.金属基纳米复合材料的制备技术研究[J].南京航空航天大学学报,2003(05):572-578. |
| [15] | 陈敏,魏合林,刘祖黎,姚凯伦.沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响[J].物理学报,2001(12):2446-2451. |
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