磁控溅射法制备CoCrMo合金表面掺杂DLC膜层的性能研究

稀有金属材料与工程, 2015, 44(12): 2982-2986.

磁控溅射法制备CoCrMo合金表面掺杂DLC膜层的性能研究

谭笛 ^1, , 代明江 ^2, , 符文彬 ^3, , 林松盛 ^4, , 韦春贝 ^5, , 赵明纯 ^6,

1.广州有色金属研究院, 广东广州510650;中南大学,湖南长沙410083

2.广州有色金属研究院,广东广州,510650

3.中南大学,湖南长沙,410083

4.广州有色金属研究院,广东广州,510650

5.广州有色金属研究院,广东广州,510650

6.中南大学,湖南长沙,410083

基金项目: International Cooperation Projects in Guangdong Province (2011B050400007) National Science and Technology Support Program of China (2012BAI18B04)

关键词： CoCrMo合金 , DLC(类金刚石碳) , 耐磨 , 石墨化

Performance of CoCrMo Alloy with Me-Doped DLC Coatings Prepared by a Magnetron Sputtering Method

Keywords： CoCrMo alloy , DLC (diamond like carbon) , wear resistance , graphitization

为提高CoCrM合金的耐磨性,延长其使用寿命,采用磁控溅射法在其表面制备了厚度为1.89μm、分别掺W元素和掺Ti元素的2种DLC膜层.摩擦磨损实验测得未镀膜层、镀Ti-DLC膜层以及镀W-DLC膜层的CoCrMo合金的磨损率分别是15.25×10-6,0.76× 10-6和0.19× 106 mm3·m-1 ·N-1.结果说明:镀膜后基体的耐磨性显著提高;镀W-DLC的试样比镀Ti-DLC的试样更耐摩.拉曼分析表明,镀膜试样因在摩擦过程中表层膜层发生了部分石墨化,所以表现出了优异的耐磨性.

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