晶体生长过程建模及解耦控制

人工晶体学报, 2011, 40(5): 1353-1357.

1.西安理工晶体科技有限公司,西安710077;西安理工大学,西安710048

2.西安理工大学,西安710048

3.延安大学西安创新学院,西安710100

基金项目: 国家科技重大专项(2009ZX02011)

Modeling of Crystal Growth Process and Its Decoupling Control

晶体生长过程中其直径的控制是通过调节生长速度和热场温度而实现的.控制系统是一个双入双出系统,输入输出之间存在耦合关系.本文采用前馈补偿解耦的方法,实现了单晶炉生长控制中的解耦控制,并通过仿真及实验证明了方法的有效性.

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