钙钛矿型氧化物透明导电薄膜La:SrTiO3的制备、结构与物性研究

低温物理学报 , 2009, 31(2): 97-101.

钙钛矿型氧化物透明导电薄膜La:SrTiO3的制备、结构与物性研究

陈乐 ^1, , 刘亲壮 ^2, , 王海峰 ^3, , 高关胤 ^4, , 吴文彬 ^5,

1.合肥微尺度物质科学国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

2.合肥微尺度物质科学国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

3.合肥微尺度物质科学国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

4.合肥微尺度物质科学国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

5.合肥微尺度物质科学国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

基金项目: 国家科技部资助项目(NKBRSG-G 1999064602) 国家自然科学基金(10674005;10174003;90303008)

关键词：透明导电薄膜 , 电阻率 , 铁电电容器

TRANSPARENT AND CONDUCTIVE OXIDE FILMS WITH PEROVSKITE-TYPE STRUCTURE:LaSrTiO3

本文采用脉冲激光沉积法于不同沉积温度与衬底制备了一系列的La0.05 Sr0.95 TiO3(LSTO)单晶透明导电薄膜.实验主要研究了高温高氧压条件下沉积的LSTO薄膜的结构及电、光学性质.它们具有良好的外延结构,表现出很好的透明、导电性质.对电阻率拟合发现其导电机制符合电子.电子散射机制.由于制备条件与其它多种钙钛矿型氧化物薄膜一致,可广泛集成应用.用其作为电极所制备的PbZr0.52 Ti0.48O3(PZT)外延铁电电容器,具有很好的电滞回线和透光性.

参考文献

[1]	Hideo Hosono .Recent progress in transparent oxide semiconductors: Materials and device application[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2007(15):6000-6014.
[2]	J. H. Cho;H. J. Cho .Optical transparency of metallic La_(0.5)Sr_(0.5)TiO_(3+δ) thin films[J].Applied physics letters,2001(10):1426-1428.

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