射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*

材料导报, 2001, 15(4): 61-64.

射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*

胡社军 ^1, , 温伟祥 ^2, , 曾鹏 ^3, , 吴起白 ^4, , 谢光荣 ^5, , 黄拿灿 ^6, , 胡显奇 ^7, , 盛钢 ^8, , 盛忠 ^9,

1.广东工业大学材料与能源学院,

2.广东工业大学材料与能源学院,

3.广东工业大学材料与能源学院,

4.广东工业大学材料与能源学院,

5.广东工业大学材料与能源学院,

6.广东工业大学材料与能源学院,

7.深圳市黄金屋真空科技有限公司,

8.深圳市黄金屋真空科技有限公司,

9.深圳市黄金屋真空科技有限公司,

基金项目: 广东省教育厅科研项目(9751) 国家高技术研究发展计划(863计划)(863-715-00-0190)

关键词：司 , 射频/直流磁控溅射 , 不锈钢/陶瓷薄膜 , 组织 , 性能

Researches on Microstructure and Properties of Stainless Steel/Ceramic Composite Films Prepared by RF/DC Sputtering

利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.

参考文献

[1]	戚震中.纳米复合镶嵌薄膜[C].’94秋季中国材料研讨会Ⅱ．低维材料,1994:379～385.
[2]	Fujimori H;Mitani S;Takanashi K .[J].Materials Science and Engineering,1999,A267:184.
[3]	侯鹤岚.溅射靶的开发与应用[J].真空,2000(01):37-39.
[4]	Aldrich-Smith G;Teer D G;Dearnley P A .[J].Surface and Coatings Technology,1999,111(2-3):128.
[5]	Renevier N;Collignon P;Michel H .[J].Surface and Coatings Technology,1998,108-109(1-3):413.
[6]	Benayoun S;Fouilland PailléL;Hantzpergue S S .[J].Thin Solid Films,1999,352(1-2):156.

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