钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征

稀有金属材料与工程, 2008, 37(5): 918-921.

钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征

郑建华 ^1, , 冯文芳 ^2, , 周锦兰 ^3, , 田熙科 ^4, , 俞开潮 ^5,

1.中国地质大学,湖北,武汉,430074

2.华中科技大学,湖北,武汉,430074

3.华中科技大学,湖北,武汉,430074

4.中国地质大学,湖北,武汉,430074

5.华中科技大学,湖北,武汉,430074

基金项目: 国家自然科学基金(40172018;20675033)

关键词：聚酰亚胺 , 催化增强化学气相沉积 , 铂薄膜 , 钯-铂双层膜 , 表征

Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD

以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积(CECVO)法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积(钯配合物起催化剂作用),金属铂、钯顺序沉积可形成双层膜.经XPS和SEM分析了所得沉积膜的表面结构与相组成.结果表明:所有沉积层与PI衬底的粘附性能良好;沉积速率为70～80nm/h,钯、铂粒径分别为100nm和100～150nm.

参考文献

[1]	Zhang Y;Choi S;Puddephatt W K R .[J].Journal of the American Chemical Society,1997,119(39):9295.
[2]	Bchir, OJ;Green, KM;Ajmera, HM;Zapp, EA;Anderson, TJ;Brooks, BC;Reitfort, LL;Powell, DH;Abboud, KA;McElwee-White, L .Tungsten allylimido complexes Cl-4(RCN)W(NC3H5) as single-source CVD precursors for WNxCy thin films. Correlation of precursor fragmentation to film properties[J].Journal of the American Chemical Society,2005(21):7825-7833.
[3]	俞开潮,Yousef Hamadan,程银华,周锦兰,李正佳,于澍燕,焦庆.催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层[J].无机化学学报,2006(05):789-794.
[4]	杜继红,李争显,高广睿.钼基体上化学气相沉积钨功能涂层的研究[J].稀有金属材料与工程,2005(12):2013-2016.
[5]	杨文彬,张立同,成来飞,华云峰,张钧.金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析[J].稀有金属材料与工程,2006(03):488-491.
[6]	Wilson A M .[J].Thin Solid Films,1981,83(02):145.
[7]	Kordas K et al.[J].Applied Surface Science,1999,152(3-4):149.
[8]	Cole H S et al.[J].Applied Physics Letters,1988,53(21):2111.
[9]	Sacher E;Pireaux J J;Kowalczyk S P.Metallization of Polymers[A].Washington,DC:American Chemical Society,1990:528.
[10]	王嘉瑞,邓维,王晔峰,刘磊,郭庆祥.Pd催化的需氧氧化反应的新进展[J].有机化学,2006(04):397-412.
[11]	胡昌义,戴姣燕,方颖,欧阳远良,闫革新,刘伟平,程勇.MOCVD制备的Pt/C薄膜的结构与性能研究[J].稀有金属材料与工程,2006(04):546-549.
[12]	Zhang Y et al.[J].Chemistry of Materials,1998,10(08):2293.
[13]	Bhaskaran V et al.[J].Chemistry of Materials,1997,9(12):2822.
[14]	Beamson G;Briggs D.The Scientia ESCA300 Database[M].New York:John Wiley and Sons,Inc:45.
[15]	Otto K et al.[J].Applied Catalysis B:Environmental,1992,1(01):1.
[16]	Crane EL.;Nuzzo RG.;Girolami GS.;You YJ. .Mechanistic studies of CVD metallization processes: Reactions of rhodium and platinum beta-diketonate complexes on copper surfaces[J].Journal of the American Chemical Society,2000(14):3422-3435.
[17]	Lin W et al.[J].Journal of the American Chemical Society,1996,118(25):5988.
[18]	Lin W et al.[J].Journal of the American Chemical Society,1996,118(25):5977.

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