硬质合金表面Mo离子注入对CVD金刚石涂层形成的影响

材料导报, 2000, 14(5): 57-59.

1.郑州大学物理工程学院,郑州,450052

2.郑州大学物理工程学院,郑州,450052;郑州航空工业管理学院应用科学系,郑州,450005

3.郑州大学物理工程学院,郑州,450052

4.郑州大学物理工程学院,郑州,450052

5.郑州大学物理工程学院,郑州,450052;郑州工业大学数理系,郑州,450002

6.郑州大学物理工程学院,郑州,450052

Influence of Mo Ion-implantation on Surface of Cemented Carbide on Formation of CVD Diamond Coating

采用离子注入工艺对YG6硬质合金表面进行处理,探讨了离子注入处理对硬质合金CVD金刚石涂层形成的影响.研究结果表明,Mo离子注入使硬质合金表面细化,金刚石涂层的粒度减小,改善了金刚石薄膜与合金衬底间的附着力.

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